ナノインプリント – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

ナノインプリント – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

微細パターンを形成した金型を、樹脂を表面に塗布した基板に押し付け、微細パターンを基板に転写する技術。低コスト、量産性の高いリソグラフィー技術として脚光を集めている。

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