低誘電率層間絶縁膜材料 – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

低誘電率層間絶縁膜材料 – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

ロジックの配線間の絶縁膜に使われる。従来のシリコン酸化膜より誘電率が低く、寄生容量が小さく、配線間遅延を抑制可能。

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