スパッタリング装置 – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

スパッタリング装置 – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

薄膜を形成する蒸着装置。真空状態で、高速でアルゴンの不活性物質を金属やセラミックス材料に当て、はじき出された分子を化学反応させ材料を対象物に堆積する装置。

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