スパッタリング – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

物質表面に薄膜を形成する技術。蒸着法、 PVDともいう。薄膜で覆いたい物質と膜材料とを真空中に置き、高速に加速したアルゴンや電子をターゲットに当て、はじき出された分子、化学反応させた材料を対象物に堆積技術。

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