縮小投影露光装置 – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

縮小投影露光装置 – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

露光光源に可視光、紫外線、エキシマレーザーをつかい、レンズを通してフォトマスク上のパターンをステージ上に置かれたウェーハに縮小する転写装置。

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