液浸リソグラフィー – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

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結像系とウェーハ間を液体で満たしたまま、露光を行う露光技術。大気中より液中の方が光の屈折率が高く、大気中露光に比べ露光機の開口数を向上させ、解像度を上げれる。

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