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エピタキシャル成長 – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

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結晶を他の結晶の上に成長させること。成長する結晶の方位は、下地や種となる結晶の構造で決まる。Si インゴットを製造し、ウェーハプロセスにおいて良質な結晶を成長させる。

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