OPC – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

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解像度不足でフォトマスクに忠実なレジストパターンを形成不可な現象を克服するため、光近接効果を考慮し、補助パターンをフォトマスク上に追加・修正すると、設計した回路をレジストパターン上に実現する技術。

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