MEMS – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

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MEMSは微小な電気機械システムに関する技術。半導体の微細加工技術を使いチップ内部の可動部が動き様々な機能を実現する。加速度センサーやジャイロスコープ多種のデバイスが開発されている。

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