LEEPL – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

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試料とマスクを近接させ、2kVの低加速電子ビームで照射しパターンの転写技術。低エネルギーで、近接効果がなく高精度の露光が可能。電子光学系が簡単な構造で済み、装置を安くできる。

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