オーダーメイドサービスで、SDGs,サステナブルな事業展開を支援。Mood&Feeling,Inc.     i線リソグラフィー – エレクトロ関連用語 - 【D2C | 3Dプリンター | 受注生産】オーダーメイド製品で経営支援のMood&Feeling(ムードアンドフィーリング)

i線リソグラフィー – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

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LSI生産のフォトリソグラフィー工程で、露光光に波長365nmの水銀灯のi線を使う技術をi線リソグラフィー。最小寸法0.5μm程度から0.36μmまではi線が主流。

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