EUVリソグラフィー – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

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露光波長13.6nmの光源と、反射型のマスクやミラーを使った光学系による露光技術。光学系としては最も解像度が高く形成できる。反射によって光が減衰するのに、光源が高出力でないと、生産性が落ちる。光源の高出力化が課題。

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