EPL – エレクトロ関連用語 | Mood&Feeling株式会社

電子ビーム投影露光技術。マスクに描かれたパターンをウェーハ上に縮小転写する電子ビーム露光技術。解像度が高く、焦点深度が深い。高アスペクト比のコンタクトホール向けレジストマスクの描画に向いている。

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