化学反応と機械的研磨の複合作用で、ウェーハ表面の凹凸を削り、平坦化する技術、その装置のこと。砥粒としてシリカ粒子を含んだ研磨液を回転テーブル表面の研磨パッドとウェーハ表面の間に流し、回転しつつ研磨する。研磨する材料により、砥粒を含まない研磨液もある。
>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>
Mood&Feeling株式会社は、【ファブレス経営】【在庫削減経営】支援をオーダーメードシューズ、オーダーパンプス、オーダーメード商品開発で支援いたします。
ビジネス用語集
ビジネス用語集はこちら
オーダーメードシューズブランド
MooV – Emotional Shoes
問題解決型オーダーメードシューズ MooV – Emotional Shoes はこちらから
Topページ
Topページに戻る
お問い合わせはこちらから